X射線(xiàn)熒光光譜儀既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測(cè)量等，是一種常用的光譜技術(shù)。與所有的分析儀器一樣，在做出購(gòu)買(mǎi)決定前應(yīng)當(dāng)考慮許多因素，例如應(yīng)用領(lǐng)域等細(xì)節(jié)。下面將著重討論在選擇一套用于測(cè)量薄層材料厚度的熒光光譜儀體系時(shí)應(yīng)當(dāng)考慮的一些重要因素，討論的對(duì)象主要為能量色散光譜儀體系（EDXRF），這種體系如今已經(jīng)具有許多不同的配置規(guī)格，具體如下：

　　

　　主要組件的選擇：

　　1、氣氛

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大部分元素，具體而言，從鈉元素（原子序數(shù)Z=11）到鈾元素（原子序數(shù)Z=92）都可以利用這種技術(shù)進(jìn)行檢測(cè)分析。但是對(duì)于原子序數(shù)較低的元素（鈦元素Ti，Z=22以下），空氣會(huì)對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生較大影響；由低原子序數(shù)元素產(chǎn)生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會(huì)吸收低原子序數(shù)元素的能量輻射。

　　

　　通常情況下，用于提高低原子序數(shù)元素的檢測(cè)靈敏度的方法主要為將儀器的樣品室抽成真空環(huán)境或者以氦氣(He)沖洗樣品室。

　　

　　2、探測(cè)器

　　新型探測(cè)器技術(shù)——硅漂移探測(cè)器（SDDs）能夠提高低能量敏感度，使得X射線(xiàn)熒光光譜技術(shù)可以對(duì)一些低原子序數(shù)元素進(jìn)行檢測(cè)分析，甚至是在空氣氣氛中也能進(jìn)行檢測(cè)，例如用于測(cè)量化學(xué)鍍鎳涂層中磷元素（原子序數(shù)Z=15）的含量。但是，大多數(shù)的低原子序數(shù)元素的檢測(cè)分析依然還需要隔離空氣氣氛。

　　

　　在能量色散熒光光譜儀中，硅探測(cè)器已經(jīng)變得非常普遍；今天用到的硅探測(cè)器要么就是上面提到的硅漂移探測(cè)器，要么就是Si-PIN探測(cè)器，而比較流行的第三種探測(cè)器是一種密封的、充氣的正比計(jì)數(shù)器（PropCounter）。　　

　　對(duì)于不同的應(yīng)用用途，光譜儀體系中探測(cè)器的選擇也不盡相同——例如對(duì)于定性分析往往需要用到硅漂移探測(cè)器。